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品名
分子式
純度級別
UP-SS
UP-S
UP
EL
過氧化氫
H202
√
√
√
√
鹽酸
HCI
√
硫酸
H2S04
√
√
√
硝酸
Hn03
√
氫氟酸
HF
√
氨水
NH3,H20
√
醋酸
C2H402
√
氫氧化鈉
Na0H
√
氫氧化鉀
K0H
√
其他高純試劑
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產品標準
Product standard
超凈高純電子化學品標準規格
EI級
UP級
UP
-S
級
UP-SS級
中小規模集成電路及電子元件加工工藝
0.8
微米以上集成電路及
TFT-LCD
制造工藝
0.2-0.8
微米集成電路加工工藝
0.18-0.09
微米線寬集成電路加工工藝
控制
1
微米粒徑粒子
經過
0.2
微米孔徑過濾器過濾，控制
0.5
微米粒子
經過0.05微米孔徑過濾器過濾，控制0.2微米粒子
經過
0.05
微米孔徑過濾器過濾，控制
0.2
微米粒子
金屬雜質含量小于
100ppb
金屬雜質含量小于
10ppb
金屬雜質含量小于
1ppb
單項金屬離子雜質含量≤
0.1ppb
達到
SEMI C1 C2
標準
在
100
級凈化環境中灌裝，達到
SEMIC7
標準
在
100
級凈化環境中灌裝，達到
SEMIC8
標準
在
100
級凈化環境中灌裝，達到
SEMIGrade4
標準
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